Filtración de Aire para la Industria Electrónica y de Semiconductores
La manufactura de componentes electrónicos, semiconductores y dispositivos de precisión requiere los niveles más exigentes de control de partículas. Una sola partícula de 0.1µm en un circuito integrado puede representar un defecto que no se detecta hasta las pruebas finales o en campo.
ISO 14644-1SEMI F21EN 1822ASHRAE 52.2
Clasificaciones ISO en manufactura electrónica
| Proceso | Clase ISO | Partículas máx. ≥0.5µm/m³ | Filtración terminal |
|---|---|---|---|
| Fotolitografía, semiconductores | ISO Clase 3–4 | 35 – 352 | ULPA U15-U17 |
| Ensamble de wafers, MEMS | ISO Clase 5 | 3,520 | HEPA H14 |
| Ensamble de PCB de precisión | ISO Clase 6–7 | 35,200 – 352,000 | HEPA H13 |
| Manufactura electrónica general | ISO Clase 8 | 3,520,000 | Mediana eficiencia + HEPA zonas críticas |
Consideraciones técnicas específicas
Partículas sub-micrón
En electrónica las partículas de interés están entre 0.1 y 0.5µm. Los filtros HEPA H13/H14 retienen eficientemente en este rango. Para semiconductores avanzados puede requerirse ULPA (99.9995% a 0.12µm).
Sistemas FFU (Fan Filter Unit)
Los módulos FFU son la solución estándar para techo filtrante en salas limpias electrónicas. Permiten flujo laminar descendente uniforme, son modulares para cambios de layout y permiten reemplazo de filtros sin interrumpir áreas adyacentes.
ESD y materiales del filtro
En manufactura de electrónica, los materiales de los filtros deben evaluarse para evitar generación de carga electrostática que pueda dañar componentes sensibles durante la manipulación.
Productos Filtech para la industria electrónica
Módulo HEPA Desechable
Para FFU en techo filtrante. Reemplazo rápido sin desmontar la estructura portante de la sala.
Módulo HEPA Reemplazable
Carcasa reutilizable con media reemplazable. Menor costo total en instalaciones establecidas.
HEPA Terminal Sello Gel
Sin bypass. Permite prueba de integridad con aerosol PAO/DOP según ISO 14644-3.
HEPA V-bank
Alta capacidad con baja ∆P. Para sistemas de gran volumen con restricciones energéticas.
Air Shower
Control de partículas por personal al ingreso. Reduce significativamente la carga de contaminación humana.
Bolsa MERV 13-14
Prefiltración en AHU. Protege el HEPA terminal y reduce el costo total del sistema.
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